LT新款 真空衰減泄漏測試儀 真空衰減測試系統由什么組成?
空衰減測試系統:
真空衰減測試系統由一個真空源和壓力傳感器組成。真空源用于在測試周期開始時在測試腔內建立所需的真空,而一只壓力傳感器(絕壓或表壓)或與另一只壓差傳感器結合,前者用來監測真空度,后者用來監測在測試周期內壓力隨時間的變化。預期使用較高目標真空度(如+1mbar或不到+1mbar,)的測試系統,宜設計成較高的目標壓力測量精度和Z小的系統泄漏,氣體外泄可能影響測試中測量信噪比。
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